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真空檢測室
真空檢測室,作為安裝微芯片的密封容器,用于為微芯片提供各類測試環(huán)境。具有3個氣體接口,用于連接進(jìn)出氣管道和真空泵;最高24 pin電連接,用來與安裝在內(nèi)的微芯片進(jìn)行通訊;高真空度等級,真空度可達(dá)10-4 Pa;石英玻璃光學(xué)窗口,可以對其內(nèi)的微芯片進(jìn)行光學(xué)觀測;316不銹鋼或者鋁合金材質(zhì),可按需選擇。